0.半导体设备零部件行业研究:乘国产替代之东风,各路厂商百家争鸣半导体零部件赛道多而杂。按照业内主流的分类方式,半导体设备零部件可以分为机械、电气、机 电一体、气体/液体/真空系统、仪器仪表、光学等主要赛道。机械、电气、机电一体、仪器仪表类零 部件是几乎所有半导体设备的主要组成部分,起到架构支撑、信号控制、晶圆装载、监控参数等作 用。气体/液体/真空系统则分别面向干法jvzquC41yy}/{xtlkc4dqv4ctvodnn4;75859A<;94896A;33;4ivvq

1.一天吃透一条产业链:半导体设备&零部件01产业链全景图半导体设备作半导体设备零部件分类及主要应用设备: 04产业链结构与竞争格局 4.1 产业链上下游 上游:以铝合金、石英、陶瓷等金属与非金属原材料为主,提供基础材料支撑。 下游:对接半导体设备制造商(如ASML、北方华创)与晶圆制造厂(如台积电、中芯国际),产品应用于光刻、刻蚀等关键工序。 jvzquC41zwkrk~3eqo5:8::;2:?95885:384:@<

2.半导体零部件的分类设备制造半导体设备零部件种类繁多,工艺难度差别较大。半导体零部件细分种类众多,按结构组成可分为机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪表类、光学类等,应用设备有所差异。按标准化程度可分为精密机加件和通用外购件,精密机加件为定制化产品,由设备厂商自行设计后委外加工,如腔体、机械手等,难度相对较低;jvzquC41pg}t0|tjw0ipo8f1:6>7;A597a732=>::9: