当前市场对半导体设备与核心部件的度有多高？8月11日，在第十一届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会的一场论坛上，几乎所有的听众都坚持到了最后一分钟。
文｜李昕宇
在大会分论坛之一的“半导体设备与核心部件产业投资论坛”上，多位创业者分享了其在半导体核心部件领域的最新进展，投资界人士纷纷表示看好这个“小而美”的赛道，分享了其投资理念和投资案例。
创业者：核心部件“值得做”
近几年，随着国产替代步入“深水区”，半导体核心部件及设备短板领域，涌现出一批优秀的初创公司。在论坛上，多家初创公司的创业者介绍了其公司产品和技术的最新进展。
新阳硅密（上海）半导体技术有限公司（简称“新阳硅密”）副董事长印琼玲在本次论坛上发表了“一代材料、一代设备、一代工艺，建设国产自主可控的生态圈”的演讲，她介绍，在制造技术、2.5D/3D封装技术不断发展背景下，各家半导体设备巨头都在积极布局电镀设备领域。
得益于协同发展，新阳硅密在电镀设备领域取得快速突破。新阳硅密的股东之一上海新阳，是国内领先的电镀材料厂商；股东盛吉盛作为设备厂商，与中芯国际紧密合作。新阳硅密与股东方形成了设备、材料、用户的合作研发。
芜湖通潮精密机械股份有限公司（简称“通潮精密”）董事长司奇峰在“外忧内卷下半导体零部件国产化道路”的演讲报告中指出，回溯2016年起的半导体产业发展，前3年是半导体设备、设计公司的高光时刻，最近2年尤其今年，半导体核心零部件进入腾飞阶段，零部件国产替代正当时。
司奇峰介绍，通潮精密已积累了80多家半导体客户，多个产品已向主要存储厂送样。在半导体领域，子公司芯通半导体成立于2019年，主营半导体部件精密清洗、等离子喷涂、阳极氧化、核心部件精密加工等。子公司晶纯成立于2021年，主营硅、碳化硅（含素材）、石英、金属等部件的研发制造。
温州邦欣源科技有限公司（简称“邦欣源”）董事长丁晓荣发表了“半导体高端密封圈和真空阀件的解决方案”的演讲。他介绍，电子级专用密封圈的市场长期由杜邦、GT、PPE等国际公司垄断，阀件则由VAT、SMC、V-TEX等全球性的真空阀门企业垄断。
邦欣源从源头功能助剂发力，经过五六年的奋战，终于开发出耐高温的密封圈产品，超越了杜邦最高温327摄氏度的产品。公司自主研发的真空阀板共有48套。
作为演讲的压轴，上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）总经理唐德明给大家带来“第三代半导体检测量测设备的机会和挑战”的演讲报告，详细介绍了倍受市场的半导体量测检测设备。
唐德明介绍，由于碳化硅单晶质量低于硅，碳化硅衬底在长晶过程就要做位错（包括微管）检测，出货阶段还要做翘度度及其他缺陷检测；外延片也需要进行出货检测。在碳化硅领域，当前的主要检测技术包括暗场/明场缺陷检测、形貌分析、光致发光等，主要的量检测设备市场都掌握在KLA、Semilab、Lasertec等国外厂商手里。
在半导体量检测领域，优睿谱推出的FTIR设备Eos200Lite用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，已实现批量出货且获得多家头部客户订单。优睿谱SICT200设备已交付客户，用于碳化硅衬底晶圆平整度测量，如晶圆厚度/翘曲/BOW等参数的测量。公司的碳化硅自动光学位错微管检测设备SICD系列也已经交付客户。
PE：“小而美”的赛道“值得投”
印琼玲认为，资本加持+产业链协同，半导体零部件才能发展得更好、更快。事实上，这个“小而美”的赛道已经备受资本。在本次论坛的圆桌环节，多家知名PE的相关人士介绍了其对半导体核心部件投资的理念和案例。
“半导体量检测设备、核心部件等市场渗透率在5%以下的领域，逐步得到资本青睐，也得到晶圆厂封测厂更多的验证支持，正在加速发展。”元禾璞华董事总经理牛俊岭介绍，看好零部件赛道，元禾璞华也投资了通潮精密这样的优秀公司。
浑璞投资合伙人姜寅明则表示，核心零部件的重要性不亚于整机设备，PE可以给予估值溢价。浑璞投资最早重点半导体设备，从2020年起深度零部件，当下最看重的就是第三代半导体所带来的设备和零部件的投注机会。在浑璞投资看来，投资的上半场主要是围绕晶圆厂扩产做增量替代的生意，下半年则是围绕存量做耗材的替代和创新。为此，浑璞投资看好并投资了优睿谱。
超越摩尔基金投资管理部执行总经理王琳介绍，作为专注超越摩尔产业链的基金，超越摩尔基金的领域包括模拟、射频、工艺、MEMS传感器等，也投资了托伦斯这样的零部件公司。
机遇当前，上述PE嘉宾呼吁产业良性的内卷，从客户需求出发，在一些细分领域创新性研发可用、好用的设备零部件产品，而非扎堆“替代国产”。针对当前半导体公司纷纷上市，嘉宾呼吁，半导体设备零部件公司走平台化发展道路，体量更小的“赛点”公司，应更多考虑走并购上市的路径。
对于资本的“青睐”，托伦斯半导体设备（启东）有限公司副总经理李昌哲表示，机遇当前也要尊重生态圈、设定好自己的商业模式，托伦斯选择的商业模式是只对设备原厂做技术开发，不会直接对接晶圆厂。司奇峰则强调，创业者应尊重产品、尊重人才、尊重行业。
兴业证券董事总经理王怡人在“半导体企业与资本市场的协同发展”演讲中，详细介绍了国内半导体公司登陆资本市场的情况，并给初创公司冲刺IPO提供了诸多切实的建议。
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