四川珂玛材料技术有限公司泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响报告书

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1、 PAGE 3PAGE 四川珂玛材料技术有限公司泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响报告书(报批本)建设单位:四川珂玛材料技术有限公司评价单位:四川清绿洲环保科技有限公司二二二年七月 PAGE II目录TOC o 1-2 h u HYPERLINK l _Toc15347 1 概述 PAGEREF _Toc15347 h 1 HYPERLINK l _Toc6374 1.1 项目由来 PAGEREF _Toc6374 h 1 HYPERLINK l _Toc31388 1.2 项目特点 PAGEREF _Toc31388 h 2 HYPERLINK l _Toc9209 1.3 环境影响评价

2、的工作过程 PAGEREF _Toc9209 h 2 HYPERLINK l _Toc21460 1.4 关注的主要环境问题及环境影响 PAGEREF _Toc21460 h 4 HYPERLINK l _Toc14875 1.5 环境影响评价的主要结论 PAGEREF _Toc14875 h 8 HYPERLINK l _Toc30896 2 总则 PAGEREF _Toc30896 h 9 HYPERLINK l _Toc12264 2.1 编制依据 PAGEREF _Toc12264 h 9 HYPERLINK l _Toc7112 2.2 评价目的 PAGEREF _Toc7112 h

3、 13 HYPERLINK l _Toc9278 2.3 环境影响因素识别和评价因子筛选 PAGEREF _Toc9278 h 13 HYPERLINK l _Toc25736 2.4 评价工作等级和评价范围 PAGEREF _Toc25736 h 15 HYPERLINK l _Toc27743 2.5 评价执行的环境标准 PAGEREF _Toc27743 h 21 HYPERLINK l _Toc1280 2.6 相关规划及环境功能区划 PAGEREF _Toc1280 h 27 HYPERLINK l _Toc17221 3 现有项目工程分析 PAGEREF _Toc17221 h 6

4、0 HYPERLINK l _Toc21485 3.1现有项目回顾性评价 PAGEREF _Toc21485 h 60 HYPERLINK l _Toc21438 3.2 现有项目存在的环保问题及以新带老减缓措施 PAGEREF _Toc21438 h 99 HYPERLINK l _Toc16988 4 建设项目工程分析 PAGEREF _Toc16988 h 101 HYPERLINK l _Toc25085 4.1 建设项目概况 PAGEREF _Toc25085 h 101 HYPERLINK l _Toc19317 4.2 工艺流程及产污工程分析 PAGEREF _Toc19317

5、h 127 HYPERLINK l _Toc32472 4.3 项目相关平衡 PAGEREF _Toc32472 h 148 HYPERLINK l _Toc775 4.4 项目营运期污染源强分析 PAGEREF _Toc775 h 152 HYPERLINK l _Toc28361 4.5 全厂项目污染物“三本账”核算 PAGEREF _Toc28361 h 175 HYPERLINK l _Toc32487 4.6 总量控制 PAGEREF _Toc32487 h 175 HYPERLINK l _Toc30510 4.7 清洁生产情况简要分析 PAGEREF _Toc30510 h 17

6、6 HYPERLINK l _Toc9254 5环境现状调查与评价 PAGEREF _Toc9254 h 181 HYPERLINK l _Toc27840 5.1 自然环境现状调查与评价 PAGEREF _Toc27840 h 181 HYPERLINK l _Toc27265 5.2 成眉石化园区概况 PAGEREF _Toc27265 h 185 HYPERLINK l _Toc4718 5.3环境质量现状监测与评价 PAGEREF _Toc4718 h 187 HYPERLINK l _Toc15433 6环境影响预测与评价 PAGEREF _Toc15433 h 208 HYPERL

7、INK l _Toc26512 6.1施工期环境影响分析 PAGEREF _Toc26512 h 208 HYPERLINK l _Toc27778 6.2营运期大气环境影响预测与评价 PAGEREF _Toc27778 h 214 HYPERLINK l _Toc32270 6.3 营运期地表水环境影响预测与评价 PAGEREF _Toc32270 h 219 HYPERLINK l _Toc22668 6.4营运期声环境影响预测与评价 PAGEREF _Toc22668 h 226 HYPERLINK l _Toc11187 6.5 固体废弃物环境影响分析 PAGEREF _Toc1118

8、7 h 229 HYPERLINK l _Toc31434 6.6地下水环境影响预测分析 PAGEREF _Toc31434 h 231 HYPERLINK l _Toc8849 6.7土壤环境影响预测分析 PAGEREF _Toc8849 h 242 HYPERLINK l _Toc24583 7 环境风险影响分析 PAGEREF _Toc24583 h 245 HYPERLINK l _Toc28020 7.1 风险物质识别 PAGEREF _Toc28020 h 245 HYPERLINK l _Toc1841 7.6 风险评价小结 PAGEREF _Toc1841 h 259 HYPE

9、RLINK l _Toc31129 8 环境保护措施及其可行性论证 PAGEREF _Toc31129 h 261 HYPERLINK l _Toc4724 8.1 大气污染防治措施评述 PAGEREF _Toc4724 h 261 HYPERLINK l _Toc10970 8.2 废水污染防治措施评述 PAGEREF _Toc10970 h 265 HYPERLINK l _Toc24373 8.3 噪声污染防治措施评述 PAGEREF _Toc24373 h 268 HYPERLINK l _Toc5680 8.4 固体废物污染防治措施评述 PAGEREF _Toc5680 h 269

10、HYPERLINK l _Toc20232 8.5土壤、地下水污染防治措施评述 PAGEREF _Toc20232 h 272 HYPERLINK l _Toc15708 8.6生态环境防治保护措施 PAGEREF _Toc15708 h 276 HYPERLINK l _Toc20797 8.7环境风险管理 PAGEREF _Toc20797 h 276 HYPERLINK l _Toc15537 8.8 “三同时”一览表 PAGEREF _Toc15537 h 288 HYPERLINK l _Toc31228 9 环境影响经济损益分析 PAGEREF _Toc31228 h 292 HY

11、PERLINK l _Toc9303 9.1 项目经济效益 PAGEREF _Toc9303 h 292 HYPERLINK l _Toc6914 9.2 环保设施投资估算 PAGEREF _Toc6914 h 292 HYPERLINK l _Toc16511 9.3社会效益分析 PAGEREF _Toc16511 h 294 HYPERLINK l _Toc13179 10 环境管理与监测计划 PAGEREF _Toc13179 h 295 HYPERLINK l _Toc28768 10.1环境管理计划 PAGEREF _Toc28768 h 295 HYPERLINK l _Toc10

12、463 10.2 环境监测计划 PAGEREF _Toc10463 h 306 HYPERLINK l _Toc25662 11 环境影响评价结论 PAGEREF _Toc25662 h 309 HYPERLINK l _Toc10407 11.1 结论 PAGEREF _Toc10407 h 309 HYPERLINK l _Toc22095 11.2 评价总结论 PAGEREF _Toc22095 h 314四川珂玛材料技术有限公司 泛半导体核心零部件加工制造项目环境影响报告书PAGE 178 1 概述1.1 项目由来四川珂玛材料技术有限公司为苏州珂玛材料技术有限公司在四川眉山市成立的分公

16、极氧化生产工艺按照本名录中电镀工艺相关规定执行”,因此,本项目涉及“阳极氧化”工艺,应编制环境影响报告书。受四川珂玛材料技术有限公司委托,我公司(四川清绿洲环保科技有限公司)承担了该项目的环境影响评价工作(委托书见附件1)。接受委托后,我公司立即组成项目环评小组,对项目区进行现场踏勘、调查、收集资料等工作,结合现场踏勘的实际情况,在对项目有关资料研读的基础上,遵循有关评价规定和规范,编制完成本环境影响报告书,供生态环境行政主管部门审查。1.2 项目特点该项目具有以下特点:(1)本项目主要为平板显示器、半导体产业核心设备零部件的加工制造,配套内部加工所需的表面处理工艺(喷砂、除油、阳极氧化),扩

17、大了企业零部件加工制造的规模。(2)本项目产品可分为:铝合金制作的半导体腔体、电极以及CVD(化学气相沉积)设备四大件(Diffuser(扩散器)、Shadow Frame(框架)、Backing Plate(基板)和Susceptor(加热器);高纯钛、不锈钢制作的卡扣、挂件等;陶瓷、石英、硅制作的屏蔽件、支撑件。其中,半导体腔体、电极和CVD四大件的Susceptor(加热器)、Shadow frame(框架)需要进行阳极氧化表面处理加工,主要目的为提升工件耐蚀性、耐磨性、耐候性、绝缘性及吸附性等;其余零部件表面处理工艺为喷砂、除油,主要目的为去除机加工残留的碎屑和油污。同时,本项目为客户

18、提供设备零部件的返厂维修服务,返厂维修的部件将根据材料属性进行精度、尺寸修复加工及再次表面处理,其中约50套/年(其中半导体腔体10套/年(每套包含10件半导体腔体),电极板10件/a,CVD四大件30套/a(每套包含4个部件,其中2个部件(Susceptor(加热器)、Shadow frame(框架)需阳极氧化处理)的返厂修部件需再次通过阳极氧化进行表面处理。本项目新增废水依托一期项目的污水处理设施处置后,排入园区污水管网;废气中主要污染因子为阳极氧化工艺产生的碱雾、硫酸雾、硝酸雾(NOx),喷砂工艺产生的颗粒物,除油产生的VOCs等,本评价将重点分析。1.3 环境影响评价的工作过程根据建设

21、目提出切实可行的污染防治措施、总量控制规划指标和环境监督管理及监测计划,将建设引起的环境影响减少到最低限度,对该项目在环境保护方面是否可行做出结论。1.4 关注的主要环境问题及环境影响本工程环境影响评价工作,结合厂址地区环境特点、工程特点,重点关注以下几个方面的问题:1、现有项目回顾评价依据相关法律法规、标准、技术规范及其他环保要求,结合厂区现有项目及现有项目环评批复的要求,分析现有项目阳极氧化线设置情况,环保方面存在的问题,提出“以新带老”措施要求。2、工程分析及污染治理措施可行性分析工程建设后产生的大气环境影响:结合项目周边的环境保护目标情况,主要考虑生产过程中产生的废气对大气环境的影响以

22、及非正常工况下的废气排放对大气环境的影响。工程建设后产生的地表水环境影响:废水经一期自建的污水处理站和预处理池处理后排放至成眉石化园区污水处理厂处理,关注依托厂区污水处理站的可行性分析及废水接管的可行性分析。关注各类槽体发生泄漏事故后,对地下水的影响。其他有可能存在的环境隐患:关注事故应急池事故状态下是否满足要求,关注雨水管道切换阀门是否可以做到初期雨水、雨水的切换,关注火灾事故后果影响及应急防范措施。3、项目污染治理措施及排放情况(1)废气有组织经分析,本项目正常运行过程中,机加工工序无废气产生,主要的废气污染物包括:喷砂工艺产生的颗粒物,除油产生的VOCs以及阳极氧化工艺产生的碱雾、硫酸雾

23、、硝酸雾(NOx);项目喷砂工序设置有4台喷砂设备,每2台喷砂设备配置一套废气处理系统(TA013、TA014),项目产生的喷砂粉尘经每台设备配套的集气罩+小型布袋除尘设备处理后分别汇入15m高排气筒(DA012、DA013)排放;项目除油工序产生的有机废气经集气罩收集后,由冷凝装置回收+二级活性炭吸附装置(TA015)处理后,最终经15m高排气筒(DA014)排放;项目阳极氧化工序产生的酸雾、碱雾经反应槽两侧安装的集气装置收集,经2套二级酸碱中和喷淋塔(TA011、TA011)净化后,通过1根15m高排气筒排放(DA011)。无组织经分析,本项目无组织排放主要来自喷砂过程飘散的颗粒物、除油工

24、序中逸散的VOCs、阳极氧化区碱蚀、酸洗、阳极氧化过程未被收集到的碱雾、硫酸雾、硝酸雾(NOx)。项目废气处理后颗粒物达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2标准限制后有组织排放;VOCs达到四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准(DB51/2377-2017)表4、表3标准限值后有组织排放;硫酸雾、氮氧化物达到电镀污染物排放标准(GB21900-2018)中表5标准限值后有组织排放。(2)废水经分析,本项目正常运行过程中废水包括生产废水、生活污水。其中,生产废水包括超纯水制备浓水、阳极氧化工段产生的超声波清洗废水、高压水洗废水、纯水养护废水、封孔废水、无尘室精密清洗废水、

25、酸碱中和喷淋废水、车间地面清洁废水以及生活污水。项目生产废水经厂区的污水处理站处理达到污水综合排放标准(GB8978-1996)中三级标准后,排入园区市政管网;办公生活区正常运行过程中产生的生活污水经收集、预处理后满足污水综合排放标准(GB 8978-1996)三级标准后,由园区污水管网收集汇入成眉石化园区污水处理厂处理后达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中“一级A标”后,进入深度处理单元(处理工艺为“反硝化生物滤池+人工湿地处理系统”)处理后出水达到地表水环境质量标准(GB3838-2002)中“类水域标准限值”(TN达到DB51/2311-2016中“城镇污水处理

26、厂”标准)后排入毛河。(3)固体废物经分析,项目固体废物主要包括一般废物和危险废物两类。一般废物:主要包括生活垃圾、废包装袋、废RO膜、机加工边角料、报废工件、除尘设备收集尘、废胶带、废石英砂磨料、预处理池污泥、废丙酮包装桶等。其中,生活垃圾、废RO膜统一收集后交由当地环卫部门处理;机加工边角料收集后外售至回收站;报废工件由客户自行回收;废石英砂磨料、除尘设备粉尘交由厂家回收,废胶带、废包装袋集中收集后定期交由回收单位处置,预处理池污泥委托环卫部门定期清掏,废丙酮包装桶交由厂家回收;危险废物:主要为废切削液、废金属屑、废矿物油、废含油抹布手套、废机油桶、脱脂槽、退膜槽、中和槽、碱洗槽、化抛槽、

27、阳极氧化槽等产生的废槽液、废丙酮液、废丙酮擦拭布、废活性炭、生产废水处理设施污泥,上述危险废物均收集后交由有危险废物处理资质的单位进行处理。其中,脱脂槽、退膜槽、中和槽、化抛槽、阳极氧化槽等产生的废槽液更换时由资质单位直接从槽体中清运,生产废水处理设施污泥委托有危废资质的单位直接上门清运,项目不另行储存,其他危废依托原有项目危废暂存间储存,定期交由危废资质单位处置。一般废物暂存库按一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)相关要求进行“防风、防雨、防渗”处理。危险废物暂存库严格按照危险废物储存污染控制标准的要求设计,做好“防风、防雨、防晒、防渗”四防措施(且库内设置地沟

28、并进行重点防渗处理);危废暂存间必须按环境保护图形标志(GB15562-1995)的规定设置警示标志,周围应设置围墙或其他防护栅栏;作好危险废物情况的记录,记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特性和包装容器的类别、入库日期、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。建设单位在投产之前,需与相应危废处置单位签订外委处置协议,确保各类危废均由相关危废单位妥善清运处置。通过上述措施,确保本项目产生的固体废物得到妥善的处理,不造成二次污染。(4)噪声本项目拟采取优化总图布置,合理布局,并对高噪声源有针对性地采取降噪、隔声、消声及减振等综合措施,实现厂界噪声满足工业企业厂界环境噪声排放标准(GB1234

29、8-2018)中相应功能区标准,可保证项目噪声影响满足相关要求。(5)地下水按照导则要求,将本项目厂区分为简单防渗区、一般防渗区、重点防渗区,分别采取不同等级的防渗措施,防渗层在地表铺设,按照污染防治分区采取不同设计方案,具体如下:重点防渗区:甲类仓库、生产车间、污水排水管道区、酸碱中和喷淋塔地面,依托的危废暂存间、依托的污水处理站地面。须满足等效黏土防渗层Mb6.0m,渗透系数K110-7cm/s的要求,依托的污水处理站和危废暂存间已满足重点防渗要求,其中危废暂存间地面防渗层满足渗透系数K1.010-10cm/s的要求;一般防渗区:空压机房、纯水间、外机房。须满足等效黏土防渗层Mb1.5m、

30、渗透系数K1.010-7cm/s要求;简单防渗区:其他区域。一般地面硬化即可。除此之外,全厂相关涉水生产设备、管道及构筑物采取相应的防腐设施,制定相应的设备检修计划、污染物排污监测及环境要素监测计划,确保项目正常稳定运行及区域环境影响可接受。(6)土壤环境影响分析项目主要为大气沉降途径对土壤的影响,预测结果显示:排入大气环境的硫酸雾沉降对土壤影响较小,叠加后预测结果均满足土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)相对应标准。由此可知,项目对区域土壤影响较小,处于可接受水平。(7)环境风险本项目为泛半导体核心零部件加工制造项目,危险物质涉及硫酸、硝酸、氢氧化钠

31、、丙酮。按照建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)物质识别,项目风险潜势为级,评价工作等级为简单分析。本项目主要环境风险为阳极氧化槽、丙酮清洗槽、化学药品储存间泄露,发生泄露时会对周围地表水、土壤及地下水造成一定的污染影响。只要严格按照环评以及相关部门的措施要求执行,项目对环境的风险发生概率很低、环境风险水平可以接受。1.5 环境影响评价的主要结论四川珂玛材料技术有限公司“泛半导体核心零部件加工制造项目”符合国家现行产业政策,选址符合眉山市总体规划、符合彭山区城市总体规划及彭山经济开发区(成眉石化园区)规划,项目拟采用的生产工艺及设备先进、成熟、可靠,符合清洁生产要求;项目采取的

34、7号)2013年9月;(11)国务院关于印发水污染防治行动计划的通知(国发201517号),2015年4月;(12)国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知(国发201631号),2016年5月;(13)中共中央国务院关于加快推进生态文明建设的意见(中发201512号),2015年4月;(14)关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知(环环评2016150号),2016年10月;(15)关于规划环境影响评价加强空间管制、总量管控和环境准入的指导意见(试行)(环办环评201614号),2016年2月;(16)关于印发的通知(环环评201695号),2016年7月;(17)中共中央、国务

41、环境影响评价技术导则 地表水环境(HJ2.3-2018);(4)环境影响评价技术导则 地下水环境(HJ610-2016);(5)环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4-2021);(6)环境影响评价技术导则 生态影响(HJ19-2021);(7)环境影响评价技术导则 土壤环境(试行)(HJ964-2018);(8)建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018);(9)建设项目危险废物环境影响评价指南(公告2017年第43号);(10)企业突发环境事件风险分级方法(HJ941-2018);(11)污染源源强核算技术指南 准则(HJ884-2018);(12)排污许可证申请与核发技术规范

43、自然资规函2021581号等;四川省生态环境厅(原“四川省环保厅”)出具的关于印发审查意见的函(川环建函【2015】14号);成眉石化园区规划排水方案调整环境影响补充报告相关意见的函(川环函20171986号);委托书;四川珂玛材料技术有限公司“泛半导体核心零部件加工制造项目”可行性研究报告及其他工程设计资料。2.2 评价目的1、结合国家相关产业政策、行业规划及当地规划,以及工程运行期对环境的影响进行分析、预测评价;2、根据工程项目与环境保护目标的关系,提出针对性的保护措施、减缓措施,使工程建设对环境产生的不利影响将到最低程度,环境可接受;3、根据工程在运营期对环境产生影响的主要特点,提出运营

44、期环境管理和监测计划;4、根据环境风险评价成果,提出运行期的环境风险防范措施和事故应急预案。2.3 环境影响因素识别和评价因子筛选1、环境影响因素分析(1)施工期本项目施工期主要活动是厂区建设(包含生产厂房、原辅料及产品储备工程及环保等公用辅助工程),施工期影响大多为短期的、局部的,施工结束后大部分影响是可恢复的。施工期对环境的主要影响如下:施工扬尘、施工设备噪声、废气、弃土、施工建渣、生活废水、生活垃圾等,造成环境影响。(2)运营期运营期主要影响如下:水环境项目外排废水对区域地表水和地下水的影响。环境空气本项目外排大气污染物对区域大气环境产生的影响。声学环境本项目设备、运输等噪声设备对厂区周

45、围声学环境的影响。土壤环境项目运营期产生的污染物进入土壤对厂区周边土壤环境的影响。环境风险分析事故情况下污染物排放导致的环境风险,提出风险防范措施和应急预案等。生态环境影响本项目建设对生态环境影响程度。2、环境影响因素识别根据工程建设和运行期产污情况以及评价区域环境质量现状,对工程环境影响因素进行识别,结果见表2.3-1:表2.3-1 环境影响因素识别表开发活动环境要素建设期运营期施工运输废气废水固废噪声地表水-1SP-1SP-1LP地下水-1SP-1LP-1LP环境空气-1SP-1LP声环境-1SP-1SP-1LP生态环境-1SP水土流失-1SP备注:影响程度:1-轻微;2-一般;3-显著;

46、“”表示正面影响,“”表示负面影响影响时段:S-短期;L-长期;影响范围:P-局部;W-大范围;由表2.3-1可以看出,本工程在建设期及运行期产生的废水、废气、噪声和固废对工程周围自然环境将造成一定的影响。3、评价因子筛选本项目环境影响评价因子识别见表2.3-2:表2.3-2 项目环境评价因子识别类别现状评价因子预测评价因子总量控制因子大气基本因子:SO2、NO2、PM10、CO、O3、PM2.5;特征污染因子:TSP、VOCs、硫酸雾、氮氧化物、丙酮。TSP、VOCS、硫酸雾、氮氧化物、丙酮颗粒物、VOCs、氮氧化物地表水pH、COD、SS、BOD5、氨氮、TP、总氮、石油类。废水达标及纳管

47、可行性分析COD、氨氮噪声等效连续A声级(LAeq)等效A声级(LAeq)/固体废物固废处置情况工业固体废物/地下水K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、Cl-、HCO3-、SO42-、pH、COD、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发性酚类、氰化物、砷、汞、铬(六价)、总硬度、铅、氟、镉、铁、锰、溶解性总固体、总大肠菌群、细菌总数、石油类(烯烃)、二氯甲烷、苯乙烯。COD、氨氮/土壤环境基本因子:(GB36600-2018)45项基本项目;类比分析/2.4 评价工作等级和评价范围1、评价工作等级确定(1)大气环境影响评价工作等级本次评价选取TSP、VOCs、丙酮、硫酸雾等4项指标作为大气环境

48、影响评价因子。根据环境空气质量标准(GB3095-2012),TSP日平均质量浓度限值为0.3mg/m3,根据环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录D.1,总挥发性有机物(TVOC)8小时平均质量浓度限值为0.6mg/m3,硫酸雾1小时平均质量浓度限值为0.3mg/m3,丙酮1小时平均质量浓度限值为0.8mg/m3,根据环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018),“对仅有8h平均质量浓度限值、日平均质量浓度限值或年平均质量浓度限值的,可分别按2倍、3倍、6倍折算为1h平均质量浓度限值”,则经折算后,TVOC 1小时平均质量浓度限值为1.20mg/m3。TSP1小

49、时平均质量浓度限值为0.9mg/m3。根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018),按照估算模式AERSCREEN模式,依据公式进行评价等级确定,其中污染物计算参数如下。本项目评价因子和评价标准见下表2.4-1。表2.4-1 本项目评价因子和评价标准序号评价因子平均时段标准值mg/m3标准来源1TVOC1h均值1.20参考环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录D2硫酸雾1h均值0.33丙酮1h均值0.84TSP1h均值0.9环境空气质量标准(GB3095-2012)本项目废气污染物排放情况及估算模式参数见下表。表2.4-2 项目废气污染物排放情况及估算模式参数选

50、择一览表一、有组织排放(正常情况)序号排放源污染物废气量(m3/h)排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)烟气温度()排气筒几何尺寸高度(m)内径(m)1DA011阳极氧化废气排气筒硫酸雾100000.0777.6720150.6 氮氧化物0.0190.82DA012喷砂废气排气筒TSP20000.00764.720150.63DA013喷砂废气排气筒TSP20000.00764.720150.64DA014有机废气排气筒VOCs120000.3963320150.6丙酮120000.3963320150.6二、无组织排放序号无组织污染源污染物排放速率(kg/h)污染源面源参数(m)长宽高

51、1阳极氧化车间硫酸雾0.085802518.6氮氧化物0.0142喷砂区TSP0.0046168.4583甲类车间VOCs0.04丙酮0.04根据项目情况,结合项目所在区域污染气象特征,本次大气环境影响预测采用环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)推荐模式清单中的AERSCREEN模型进行预测,计算各预测因子最大落地地面浓度值。根据项目所在地环境特点,项目估算模型参数详见下表:表2.4-2 估算模式参数表参数取值城市/农村选项城市/农村城市人口数(城市选项时)31.9万最高环境温度36.7最低环境温度-3.6土地利用类型城市区域湿度

52、条件潮湿是否考虑地形考虑地形是否地形数据分辨率/m90是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟是否岸线距离/km/岸线方向/根据大气污染物排放情况,项目主要污染源估算模型计算结果见下表:表2.4-3 废气估算结果表编号污染物名称最大落地浓度(ug/m3)浓度占标率p(%)D10%评价等级DA011硫酸雾5.911.9742二级NOx1.460.5842三级DA012颗粒物0.5830.0642三级DA013颗粒物0.5830.0642三级DA014VOCs30.42.5342二级丙酮30.43.842二级阳极氧化区硫酸雾21.47.1541二级NOx3.531.4141二级喷砂区TSP10.81.2010

53、二级精密加工区VOCs28.92.4110二级丙酮28.93.6110二级由上表可知,本项目主要污染物为硫酸雾和丙酮,本项目排放污染物最大占标率为7.15%,大于1%,小于10%,根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)中评价等级判据为二级,则本项目大气环境影响评价工作等级为二级。(2)地表水环境影响评价工作等级本项目废水主要为生产废水包括超纯水制备浓水、阳极氧化工段产生的超声波清洗废水、高压水洗废水、纯水养护废水、封孔废水、无尘室精密清洗废水、酸碱中和喷淋废水、车间地面清洁废水以及生活污水。生活污水经污预处理池收集后,同生产废水一并经厂区总排口排入成眉石化园污水处理厂进一步处

54、理。根据环境影响评价技术导则地表水环境(HJ2.3-2018),建设项目地表水环境评价等级按照影响类型、排放方式、排放量或影响情况、收纳水体环境质量现状、水环境保护目标等综合确定。水污染影响型建设项目评价等级见表2.4-4。表2.4-4 地表水评价工作等级划分评价工作等级评价工作等级判据排放方式废水排放量Q(m3/d);水污染物当量数W(无量纲)一级直接排放Q20000或W600000二级直接排放其他三级A直接排放Q200或W6000三级B间接排放/本项目废水排入污水处理厂,属于间接排放,因此水污染影响评价等级为三级B。(3)声环境影响评价工作等级根据眉山市彭山区声环境功能区划,项目所在地属于

55、3类声功能区,声环境执行声环境质量标准(GB3096-2018)3类区标准,并且项目建成前后环境敏感目标的噪声级增加不超过3dB(A),受影响人口数量变化不大。根据环境影响评价技术导则判定,声环境影响评价工作等级确定为三级。具体见表2.4-5:表2.4-5 声环境影响评价工作级别判据表评价工作等级评价工作分级判据一级0类声环境功能区;对噪声有特别限制要求的保护区等敏感目标;建设项目建设前后评价范围内敏感目标噪声级增高量达5dB(A)以上(不含5dB(A);受噪声影响人口数量显著增多二级1类、2类声环境功能区;建设项目建设前后评价范围内敏感目标噪声级增高量达3dB(A)5dB(A)(含5dB(A

56、);受噪声影响人口数增加较多三级3类、4类声环境功能区;建设项目建设前后评价范围内敏感目标噪声级增高量在3dB(A)以下(不含3dB(A),且受影响人口数量变化不大(4)地下水环境影响评价工作等级根据环境影响评价技术导则地下水环境(HJ610-2016),地下水环境敏感程度分级表见表2.4-6,工程地下水评价等级判定依据见表2.4-7。表2.4-6 地下水环境敏感程度分级表敏感程度地下水环境敏感特征敏感集中式饮用水水源(包括已建成的在用、备用、应急水源,在建和规划的饮用水水源)准保护区;除集中式饮用水水源以外的国家或地方政府设定的与地下水环境相关其它保护区,如热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源

57、保护区。较敏感集中式饮用水水源(包括已建成的在用、备用、应急水源,在建和规划的饮用水水源)准保护区以外的补给径流区;未划定准保护区的集中水式饮用水水源,其保护区以外的补给径流区;分散式饮用水水源地;特殊地下水资源(如矿泉水、温泉等)保护区以外的分布区等其他未列入上述敏感分级的环境敏感区a。不敏感上述地区之外的其它地区。注:a“环境敏感区”是指建设项目环境影响评价分类管理名录中所界定的涉及地下水的环境敏感区。表2.4-7 评价工作等级分级表项目类别环境敏感程度I类项目II类项目III类项目敏感一一二较敏感一二三不敏感二三三根据环境影响评价技术导则-地下水环境(HJ610-2016)附录A,本项目

58、属于类项目,因此项目地下水环境评价工作等级为三级。(5)土壤环境评价等级的确定根据环境影响评价技术导则 土壤环境(试行)(HJ 9642018)评价等级划分依据,建设项目评价等级由项目类别和环境敏感程度共同划定:A、建设单位占地规模:大型(50hm2)、中型(5-50hm2)、小型(5hm2)。B、土壤环境影响评价项目类别:根据环境影响评价技术导则 土壤环境(试行)(HJ 9642018)附录 A“土壤环境影响评价项目类别”,本项目行业类别属于制造业,涉及“金属制品表面处理”,列入I类。C、建设项目土壤环境影响类型:根据环境影响评价技术导则 土壤环境(试行)(HJ 9642018),建设项目土

59、壤环境影响类型为污染影响型。D、建设项目所在地周边的土壤环境敏感程度分为敏感、较敏感、不敏感,判别依据见表2.4-8。表2.4-8 污染影响型敏感程度分级表敏感程度判别依据敏感建设项目周边存在耕地、园地、牧草地、饮用水水源地或居民区、学校、医院、疗养院、养老院等土壤环境敏感目标的。较敏感建设项目周边存在其他土壤环境敏感目标的不敏感其他情况根据土壤环境影响评价项目类别、占地规模与敏感程度划分评价工作等级,详见下表:表2.4-9 污染影响型评价工作等级划分表敏感程度评价工作等级占地规模 = 1 * ROMAN * MERGEFORMAT I类 = 2 * ROMAN * MERGEFORMAT I

60、I类 = 3 * ROMAN * MERGEFORMAT III类大中小大中小大中小敏感一级一级一级二级二级二级三级三级三级较敏感一级一级二级二级二级三级三级三级不敏感一级二级二级二级三级三级三级注:“”表示可不开展土壤环境影响评价工作。由上表分析可知,本项目属于I类项目,占地面积为小型,项目位于成眉石化园内,属于不敏感区,因此,项目评价工作等级为二级。(6)环境风险评价工作等级根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ1692018)导则,环境风险评价工作等级划分为一级、二级、三级。根据建设项目涉及的物质及工艺系统危险性和所在地的环境敏感性确定环境风险潜势,本项目危险物质在厂界内的最大存在总量与

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0.半导体产业“卡脖子”?设备零部件需要破局设备零部件需要破局 近几年来,半导体产业成长越来越炽热,与第一代、第二代半导体材料(Si、CaAs)分歧,第三代半导体材料(SiC、GaN等)具有高频、高效、高功率、耐高压、抗辐射等诸多上风特征,首要利用在5G、新能源车、充电桩、光伏、轨道交通等范畴的焦点部件上,而以上范畴都是国家重点成长的偏向。jvzquC41vgrtqwwkxuksv7hqo1tfy|nphq548;:8384ivvq
1.一文看懂半导体工艺流程!封装基板主要研究前3个级别的半导体封装(1、2、3级封装),0级封装暂与封装基板无关,因此封装基板一般是指用于1级2级封装的基板材料,母板(或载板)、刚挠结合板等用于三级封装。 封装基板和三级封装 零级封装 裸芯片电极的制作、引线的连接等均在硅片之上完成,暂与基板无关。 jvzquC41yy}/5?5fqe4dp8ftvkimg8<9;8769:d327:99<83;0nuou
2.志橙半导体创业板IPO受理!CVD碳化硅零部件市占中国第五,募资8亿目前,志橙半导体主要产品包括SiC外延设备、MOCVD设备、Si外延设备用碳化硅涂层石墨零部件,并持续开发半导体设备用实体碳化硅零部件、烧结碳化硅零部件等新产品。 报告期内,志橙半导体主营业务收入按产品分类构成情况如下: 志橙半导体营收最主要来源于半导体设备零部件业务,其中营收占比最大的是SiC外延设备零部件产品,报告期jvzquC41o0oduyje0eun1yfigu5eg}fkn1jfvjnnAkj>4:>:7;<
3.半导体设备系列:半导体制造产能扩张,设备零部件需求旺盛近年来国内半导体制造产能扩张,设备零部件迎来高增长。其包含多种产品,分多类别,市场规模大,但存在技术壁垒,国内企业与海外有差距。国内部分机械类零部件已国产化,下游需求增长将带动其发展,不过也面临设备出货、技术研发及贸易摩擦等风险。 近年来国内半导体制造产能不断扩张,半导体设备厂商加速成长。我们认为下游发展将jvzquC41dnuh0lxfp0tfv8|gkzooa=882:>698ftvkimg8igvcomu86575=4:<<
4.还有国产厂商中份额排名第一的半导体精密零部件龙头2021年公司在半导体设备用精密零部件国产厂商中全球市占率排名第一,多个产品上为通过国际主流客户认证的唯一内资企业。公司已与客户A、东京电子、ASMI等全球半导体设备龙头厂商及北方华创、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、凯世通等主流国产半导体设备厂商供应链体系。 值得一提的是,万润新能发行价格达299.88元,中 jvzquC41hktbplj0gcyuoxsg{0ipo8f142832B6947726?8:484ivvq
5.历史复盘:半导体芯片库存周期影响有多大?看好半导体上游材料与零部件领域,受益于半导体产能向国内转移,细分龙头有望抓住进口替代机遇崛起。重点推荐300mm大硅片龙头沪硅产业,看好半导体零部件、光刻胶和靶材等细分子行业。基于以上分析,我们认为江丰电子、新莱应材将受益。 2 半导体上游业绩亮眼,解禁担忧有望缓解jvzquC41v071lzpc0eun0ls1rkj`4;>624>987xjvor
6.至纯科技2023年年度董事会经营评述公司业务目前80%在半导体行业,管理层从行业发展周期及战略角度出发,在下游客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期,为客户提供制程设备、系统集成及支持设备。在稳定运营期,公司为客户提供部件材料与专业服务,涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。jvzq<84{wctdj~fpi071lzpc0eun0ls142852=7;1e<69=59688/uqyon
7.IPC国际专利分类表H部――电学本部内容(参见及附注省电设备的外壳或结构零部件;电气元件组件的制造 附注 基本原理和一般使用说明 一、H部包括 1.基本电气元件,该主题包括所有电气元件以及设备和电路的一般机械结构,电路中包含把各种基本元件组装成的印刷电路;该主题还包括一定范围的这些元件的制造(当其他类目不包括时); 2.发电,该主题包括发电、变电和配电以及其相应jvzquC41fqi/okfnkd4dqv4xkg}0:l=6cc:bc@;8fg622?g:4fk8399;63h80qyon
8.江苏凯威特斯半导体科技有限公司公司资金充裕,注册资本8000(万元),在严汪学带领下,凯威特斯半导体已经为客户提供了6年优质的服务,公司主要提供电子产品、通用机械设备、五金产品的研发、销售;金属加热带、阀门、半导体设备零部件、电子工业专用设备的生产、维修;精密仪器的安装、维修;生产半导体、元器件专用材料、五金件、电子元件及组件;进出口业务 ,jvzquC41yy}/3:9890ipo8vk{g5:9>>7:69/j}r
9.半导体设备之离子注入机行业研究离子集成电路电子二、离子注入机的分类、主要组成部分、零部件 离子注入机的三大分类 根据离子束电流和束流能量范围,离子注入机可分为三大类:中低束流离子注入机、低能大束流离 子注入机、高能离子注入机。另外还有用于注入氧的氧注入机,或者注入氢的氢离子注入机,等等。 jvzq<84m0uooc7hqo0io1jwvkerfa@948:?1:@9a3dgbf>h9c262292hm4ivvq
10.最新最全半导体设备零部件深度研究报告整理(点赞收藏)这份报告结合近两年以及未来的终端市场需求和半导体的周期来指引半导体核心零部件厂商的发展。 对零部件、设备厂商、晶制造工程、半导体投资人和初入行的朋友都大有益处,值得好好研究和学习一番。 报告主要内容 半导体零部件市场空间广阔,局部高度垄断 零部件分类梳理及核心零部件详解 jvzquC41yy}/gnkqewy/exr1ctzjeuj13::66:>0jvsm
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